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MX63/MX63L 半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡

滿足電子行業(yè)需求

功能性：為滿足電子行業(yè)的人體工學(xué)和安全性要求而設(shè)計(jì)的附加功能以增強(qiáng)分析能力

人性化：簡(jiǎn)潔的顯微鏡設(shè)置使用戶調(diào)整和再調(diào)用系統(tǒng)配置變得更為輕松。

成像技術(shù)：我們成熟可靠的光學(xué)器件和好的成像技術(shù)可獲得清晰圖像，并完成可靠檢測(cè)。

模塊化：用戶可通過選擇適合其應(yīng)用的模塊進(jìn)行系統(tǒng)定制。

功能

MX63系列的各種觀察功能可生成清晰的圖像，讓用戶能夠?qū)悠愤M(jìn)行可靠的缺陷檢測(cè)。新的照明技術(shù)以及奧林巴斯Stream圖像分析軟件的圖像采集選項(xiàng)為用戶評(píng)估樣品和存

檔檢測(cè)結(jié)果提供更多選擇。

從不可見到可見：MIX觀察與采集

通過暗場(chǎng)與明場(chǎng)、熒光或偏光等其他觀察方法結(jié)合使用，MIX觀察技術(shù)能夠獲得特殊的觀察圖像。MIX觀察技術(shù)可讓用戶發(fā)現(xiàn)用傳統(tǒng)顯微鏡難以觀察的缺陷。暗場(chǎng)觀察所用的

環(huán)形LED照明器具有可四象限分段照明的定向暗場(chǎng)功能。該功能可減少樣品光暈，有助于觀察樣品的表面紋理。

輕松生成全景圖像:即時(shí)MIA

利用多圖像拼接(MIA)功能, 用戶移動(dòng)手動(dòng)載物臺(tái)上的XY旋鈕即可輕松快速地完成圖像拼接—電動(dòng)載物臺(tái)無需該操作。奧林巴斯Stream軟件利用圖案識(shí)別生成全景圖像，讓用

戶獲得更寬的視場(chǎng)。

生成全聚焦圖像:EFI

奧林巴斯Stream軟件的擴(kuò)展聚焦成像(EFI) 功能可采集高度超出景深范圍的樣品圖像。EFI將這些圖像堆疊在一起生成單幅全聚焦樣品圖像。EFI配合手動(dòng)或電動(dòng)Z軸載物臺(tái)使用

，可輕松生成結(jié)構(gòu)可視化的高度圖像。EFI圖像可在奧林巴斯Stream桌面軟件內(nèi)離線生成。

利用HDR采集明亮區(qū)域和暗光區(qū)域

利用先進(jìn)的圖像處理技術(shù)，動(dòng)態(tài)范圍(HDR)可在圖像內(nèi)調(diào)整亮度差異，以減少眩光。HDR改善了數(shù)字圖像的視覺品質(zhì)，從而有助于生成具有參考價(jià)值的報(bào)告。

從基本測(cè)量到高級(jí)分析獨(dú)立相機(jī)選項(xiàng)

測(cè)量對(duì)于品質(zhì)、工藝控制和檢測(cè)非常重要?；谶@一想法，即便入門級(jí)奧林巴斯Stream軟件包也包括交互測(cè)量功能的全部菜單，并且所

有測(cè)量結(jié)果與圖像文件一起保存以便日后調(diào)用文檔。此外，奧林巴斯Stream材料解決方案可為復(fù)雜圖像分析提供直觀的工作流界面。

點(diǎn)擊按鈕，圖像分析任務(wù)即可快速完成?？纱罂焖倏s減重復(fù)性任務(wù)的處理時(shí)間，使操作人員的精力集中在檢測(cè)工作上。

報(bào)告創(chuàng)建

創(chuàng)建報(bào)告所用的時(shí)間常常比采集圖像和測(cè)量還長(zhǎng)。奧林巴斯Stream軟件提供了直觀的報(bào)告創(chuàng)建功能，能夠根據(jù)預(yù)先設(shè)定的模板多次創(chuàng)

建專業(yè)復(fù)雜的報(bào)告。編輯非常簡(jiǎn)單，報(bào)告可導(dǎo)出為MicrosoftWord或PowerPoint文件。此外，奧林巴斯Stream報(bào)告功能能夠?qū)Σ杉膱D

像進(jìn)行數(shù)碼變焦和倍率放大。報(bào)告文件大小適中，通過電子郵件進(jìn)行數(shù)據(jù)傳遞更加方便。