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MX63/MX63L 半導體/FPD檢查顯微鏡

滿足電子行業(yè)需求

功能性：為滿足電子行業(yè)的人體工學和安全性要求而設計的附加功能以增強分析能力

人性化：簡潔的顯微鏡設置使用戶調整和再調用系統(tǒng)配置變得更為輕松。

成像技術：我們成熟可靠的光學器件和好的成像技術可獲得清晰圖像，并完成可靠檢測。

模塊化：用戶可通過選擇適合其應用的模塊進行系統(tǒng)定制。

功能

MX63系列的各種觀察功能可生成清晰的圖像，讓用戶能夠對樣品進行可靠的缺陷檢測。新的照明技術以及奧林巴斯Stream圖像分析軟件的圖像采集選項為用戶評估樣品和存

檔檢測結果提供更多選擇。

從不可見到可見：MIX觀察與采集

通過暗場與明場、熒光或偏光等其他觀察方法結合使用，MIX觀察技術能夠獲得特殊的觀察圖像。MIX觀察技術可讓用戶發(fā)現用傳統(tǒng)顯微鏡難以觀察的缺陷。暗場觀察所用的

環(huán)形LED照明器具有可四象限分段照明的定向暗場功能。該功能可減少樣品光暈，有助于觀察樣品的表面紋理。

輕松生成全景圖像:即時MIA

利用多圖像拼接(MIA)功能, 用戶移動手動載物臺上的XY旋鈕即可輕松快速地完成圖像拼接—電動載物臺無需該操作。奧林巴斯Stream軟件利用圖案識別生成全景圖像，讓用

戶獲得更寬的視場。

生成全聚焦圖像:EFI

奧林巴斯Stream軟件的擴展聚焦成像(EFI) 功能可采集高度超出景深范圍的樣品圖像。EFI將這些圖像堆疊在一起生成單幅全聚焦樣品圖像。EFI配合手動或電動Z軸載物臺使用

，可輕松生成結構可視化的高度圖像。EFI圖像可在奧林巴斯Stream桌面軟件內離線生成。

利用HDR采集明亮區(qū)域和暗光區(qū)域

利用先進的圖像處理技術，動態(tài)范圍(HDR)可在圖像內調整亮度差異，以減少眩光。HDR改善了數字圖像的視覺品質，從而有助于生成具有參考價值的報告。

從基本測量到高級分析獨立相機選項

測量對于品質、工藝控制和檢測非常重要?；谶@一想法，即便入門級奧林巴斯Stream軟件包也包括交互測量功能的全部菜單，并且所

有測量結果與圖像文件一起保存以便日后調用文檔。此外，奧林巴斯Stream材料解決方案可為復雜圖像分析提供直觀的工作流界面。

點擊按鈕，圖像分析任務即可快速完成?？纱罂焖倏s減重復性任務的處理時間，使操作人員的精力集中在檢測工作上。

報告創(chuàng)建

創(chuàng)建報告所用的時間常常比采集圖像和測量還長。奧林巴斯Stream軟件提供了直觀的報告創(chuàng)建功能，能夠根據預先設定的模板多次創(chuàng)

建專業(yè)復雜的報告。編輯非常簡單，報告可導出為MicrosoftWord或PowerPoint文件。此外，奧林巴斯Stream報告功能能夠對采集的圖

像進行數碼變焦和倍率放大。報告文件大小適中，通過電子郵件進行數據傳遞更加方便。