奧林巴斯MX51工業(yè)檢查顯微鏡
是一款高性價(jià)比的顯微鏡,適用于各種電子元件、晶圓和大型樣本的觀察需求。
考慮了檢查效率的設(shè)計(jì)
高靈敏度載物臺(tái)可以迅速?zèng)Q定位置
內(nèi)置離合器的載物臺(tái)手柄
MX51主要操作部件集中在前面,操作人員易于操作,即使長時(shí)間操作也不會(huì)感到疲勞。專用150mm載物
臺(tái)內(nèi)置離合器,可實(shí)現(xiàn)輕松移動(dòng)。
快速切換物鏡,提高檢查速度
電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器示意圖
電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器的切換速度比原來提高了20%。物鏡的切換,可以操作按鈕瞬時(shí)間完成,提高了檢查速度。
三種潔凈類型的物鏡轉(zhuǎn)換器可以按需選擇。另外,UIS2物鏡大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有
小尺寸攝像元件的CCD攝像機(jī),在切換倍率時(shí)也不會(huì)由視場中心附近偏離。
鮮明圖像和好的分辨率為特點(diǎn)的光學(xué)系
多種選擇可實(shí)現(xiàn)好的成像性能
UIS2物鏡擁有各種倍率、特殊用途物鏡等豐富的產(chǎn)品陣容,可按照用途選用。另外,波像差控制帶來的高
品質(zhì),忠實(shí)于樣本的中性色彩顯示等,UIS2物鏡無論是在目視觀察中還是在數(shù)碼影像觀察中都能發(fā)揮它的
好的性能。
觀察影像實(shí)例
明視場觀察
暗視場觀察
微分干涉觀察
熒光觀察
軟件方案
豐富的產(chǎn)品陣容,可按需選擇 |
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MPLAPON |
平場復(fù)消色差透鏡 |
MPLFLN |
平場半復(fù)消色差透鏡 |
MPLFLN-BD |
明暗視場用平場半復(fù)消色差透鏡 |
MPLFLN-BDP |
反射偏振光用平場半復(fù)消色差透鏡 |
LMPLFLN |
長工作距離平場半復(fù)消色差透鏡 |
LMPLFLN-BD |
明暗視場用長工作距離平場半復(fù)消色差透鏡 |
MPLN |
平場消色差透鏡 |
MPLN-BD |
明暗視場用平場消色差透鏡 |
SLMPLN |
超長工作距離平場消色差透鏡 |
LCPLFLN-LCD |
液晶長工作距離平場半復(fù)消色差透鏡 |
使用數(shù)碼照相機(jī)記錄和保存數(shù)碼影像
三目鏡筒可以安裝數(shù)碼照相機(jī)??梢员4婧陀涗洈?shù)碼影像,幫助創(chuàng)建觀察報(bào)告??筛鶕?jù)用途從圖像質(zhì)量、功能、使用方便性等
方面選擇數(shù)碼照相機(jī)。
幫助實(shí)現(xiàn)多種觀察方法的附件
近紅外線觀察單元
由可見光線領(lǐng)域到近紅外線領(lǐng)域的像差校正物鏡,和紅外線用超廣角三目鏡筒等,備有各種對(duì)應(yīng)近紅外線觀察的單元。在晶圓凸出物接
觸面等的觀察上發(fā)揮威力。
近紅外線觀察單元
近紅外線觀察
熒光觀察單元
在滑桿上追加鏡子裝置可以對(duì)應(yīng)熒光觀察。備有U.B.G激勵(lì)的反射鏡裝置,可有效地檢查和分析有機(jī)EL和殘留光刻膠。
熒光鏡單元
熒光觀察
透射照明單元
透射照明單元
工業(yè)檢測顯微鏡 MX51 規(guī)格 | |||
光學(xué)系統(tǒng) | UIS2光學(xué)系統(tǒng)(無限遠(yuǎn)校正) | ||
機(jī)身 | 觀察方法 | 明視場/暗視場/微分干涉/簡易偏振光/熒光 | |
反射/透射 | 反射/透射 | ||
照明裝置 | 明暗視場反射照明管(明視場/暗視場/微分干涉/簡易偏振光) | ||
通用反射照明管(明視場/暗視場/微分干涉/簡易偏振光/熒光) | |||
照明系統(tǒng) | 反射照明 | 100 W鹵素/100 W水銀/75 W氙 | |
透射照明 | 纖維光導(dǎo) | ||
對(duì)焦單元 | 電動(dòng)/手動(dòng) | 手動(dòng) | |
行程 | 32 mm | ||
分辨率/微調(diào)靈敏度 | 微調(diào)旋鈕轉(zhuǎn)動(dòng)1周移動(dòng)0.1 mm | ||
大樣本高度 | 30 mm | ||
物鏡轉(zhuǎn)換器 | 電動(dòng)型 | 明視場微分干涉6孔 | |
明暗視場微分干涉5孔 | |||
明暗視場微分干涉中心輸出5孔 | |||
明暗視場微分干涉6孔 | |||
手動(dòng)式 | 明視場5孔 | ||
明視場微分干涉6孔 | |||
明視場微分干涉中心輸出6孔 | |||
明視場微分干涉7孔 | |||
明暗視場5孔 | |||
明暗視場微分干涉5孔 | |||
明暗視場微分干涉中心輸出5孔 | |||
明暗視場微分干涉6孔 | |||
載物臺(tái) | 行程 | 6×6英寸右下手柄: 158(X)×158(Y)mm (透射照明范圍100×100 mm) |
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4×4英寸右下(左下)手柄: 100(X)×105(Y)mm?。ㄍ干湔彰鞣秶?6×96 mm) |
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觀察筒 | 廣角視場(視場數(shù)22) | 倒置 | 雙目/三目觀察筒 |
正像 | 三目觀察筒 | ||
超寬視場(視場數(shù)26.5) | 倒置 | 三目觀察筒 | |
正像 | 傾斜三目觀察筒 | ||
附件單元 | IR單元/自動(dòng)裝載 | ||
外形尺寸 | 430(W)×591(D)×495(H)mm(標(biāo)準(zhǔn)組合) | ||
重量 | 26 kg(標(biāo)準(zhǔn)組合) |