SOPTOP全新半導(dǎo)體工業(yè)檢測產(chǎn)品——AWL系列晶圓檢查系統(tǒng)，兼具穩(wěn)定性和安全性，能夠安全可靠的傳送晶圓，適合于前道到后道工程的晶圓檢查。
一個晶圓在經(jīng)過一系列復(fù)雜工序后最終變成多個IC單元，期間晶圓需要依賴晶圓搬運機在處理站之間執(zhí)行快速、精確的傳送作業(yè)。納米級厚度的晶圓很容易在傳送過程中損壞，而且還須確保在工序中晶圓表面不得有臟污、缺陷等。
SOPTOP全新半導(dǎo)體工業(yè)檢測產(chǎn)品——AWL系列晶圓檢查系統(tǒng)，兼具穩(wěn)定性和安全性，能夠安全可靠的傳送晶圓，適合于前道到后道工程的晶圓檢查。
一個晶圓在經(jīng)過一系列復(fù)雜工序后最終變成多個IC單元，期間晶圓需要依賴晶圓搬運機在處理站之間執(zhí)行快速、精確的傳送作業(yè)。納米級厚度的晶圓很容易在傳送過程中損壞，而且還須確保在工序中晶圓表面不得有臟污、缺陷等。
360°宏觀檢查
AWL系列具有宏觀檢查手臂，可以實現(xiàn)晶面宏觀檢查、晶背宏觀檢查 1 的 360°旋轉(zhuǎn)，更為容易發(fā)現(xiàn)傷痕和微塵。通過操作桿可隨意將晶圓傾斜觀察。晶面最大傾斜角度70°，晶背 1 最大傾斜角度 90°，晶背 2最大傾斜角度 160°，利用旋轉(zhuǎn)功能、傾斜角度，完全可以目視檢查整個晶圓正反面及邊緣。
人機工程學(xué)設(shè)計
LCD 顯示屏，可為操作者提供更直觀的視覺體驗，可清晰的顯示當(dāng)前檢查項目及次序，調(diào)試參數(shù)一目了然。手動快速釋放真空載物臺可提高操作者的舒適度和工作效率，充分體現(xiàn)了國產(chǎn)晶圓搬送機的人機工程學(xué)設(shè)計理念。
精密微觀檢查
采用專業(yè)半復(fù)消色差金相物鏡，可滿足明場、暗場、DIC、偏光等多種觀察方式。全新電動控制系統(tǒng)，可排查 μm 級異常，諸如孔未開出，短路，斷路，沾污，氣泡，殘留等。
應(yīng)用領(lǐng)域
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型號 |
AWL046 |
AWL068 |
AWL812 |
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晶圓尺寸 |
100mm / 150mm |
150mm / 200mm |
200mm / 300mm |
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晶圓最小厚度 |
150um |
150um / 180um |
180um / 250um |
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晶舟類型 |
Open Cassette |
Open Cassette / FOUP、FOSB |
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檢查模式設(shè)置 |
全檢 / 奇數(shù)檢 / 偶數(shù)檢 / 手動選擇 |
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晶舟掃描（有 / 無 / 斜片） |
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晶舟內(nèi)凸片偵測報警 |
≥4mm |
≥5mm |
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晶圓預(yù)定位（平邊、Notch） |
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朝向設(shè)置（平邊、Notch） |
非接觸式定位平邊、Notch，支持0°、90°、180°、270°朝向設(shè)置 |
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檢查功能 |
晶面宏檢（旋轉(zhuǎn)）、晶背宏檢1（外圈、旋轉(zhuǎn)）、晶背宏檢2（中心） |
晶面宏檢（旋轉(zhuǎn)）、晶背宏檢1（外圈）、晶背宏檢2（中心） |
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外觀尺寸（W*D*H） |
1450*700*1600mm |
1550*700*1600mm |
2400*1400*2450mm |
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電源需求 |
1P / 220V / 10A |
1P / 220V / 16A |
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真空需求（負壓 / 正壓） |
-70KPA ～ -80KPA |
-70KPA ～ -80KPA / 0.5MPA |
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適用顯微鏡 |
SOPTOP MX68R金相顯微鏡 |
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光學(xué)系統(tǒng) |
無限遠色差校正光學(xué)系統(tǒng)，放大倍率50X-1000X |
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觀察方式 |
明場、暗場、偏光、DIC |
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目鏡 |
高眼點大視野平場目鏡PL10X22mm，可帶視度可調(diào)，可帶測微尺 |
高眼點大視野平場目鏡PL10X25mm，可帶視度可調(diào)，可帶測微尺 |
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觀察頭 |
鉸鏈三目觀察筒，5-35度傾角可調(diào)，正像，瞳距調(diào)節(jié)范圍：50-76mm，兩檔式分光比，雙目：三目=100：0，0：100 |
鉸鏈三目觀察筒，0-35度傾角可調(diào)，正像，瞳距調(diào)節(jié)范圍：50-76mm，兩檔式分光比，雙目：三目=100：0，0：100 |
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物鏡 |
長工作距平場明暗場半復(fù)消色差金相物鏡 5X / 10X / 20X / 50X / 100X |
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轉(zhuǎn)換器 |
明暗場6孔電動轉(zhuǎn)換器（帶DIC插槽） |
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機架 |
反射式機架，前置低手位粗微同軸調(diào)焦機構(gòu)，粗調(diào)行程35mm，微調(diào)精度0.001mm，帶有防止下滑的松緊調(diào)節(jié)裝置和隨機上限位裝置，內(nèi)置100-240V寬電壓系統(tǒng) |
明暗場反射照明器，帶視場光闌，可變電動孔徑光闌，帶明暗場切換裝置，帶濾色片插槽與偏光裝置插槽，帶12V10W LED光源控制部件 |
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明暗場反射照明器，帶視場光闌，可變電動孔徑光闌，帶明暗場切換裝置，帶濾色片及偏光裝置插槽，帶12V10W LED燈箱 |
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載物臺 |
6英寸機械移動平臺，低手位X、Y方向同軸調(diào)節(jié)，晶圓承片臺臺面φ38mm，可360°旋轉(zhuǎn)，移動行程228mm(X方向)×170mm（Y方向），觀察范圍：170mmX170mm，帶離合器手柄 |
8英寸機械移動平臺，低手位X、Y方向同軸調(diào)節(jié)，晶圓承片臺臺面φ60mm，可360°旋轉(zhuǎn)，移動行程280mm（X方向）×210mm（Y方向），觀察范圍：210mm×210mm，帶離合器手柄 |
12英寸自動平臺，X、Y、Z、φ多方向調(diào)節(jié)，晶圓承片臺臺面φ70mm，可360°旋轉(zhuǎn)，移動行程600mm（X方向）×500mm（Y方向），觀察范圍：310mm×310mm，φ方向可±5度旋轉(zhuǎn)，各軸運動速度可以高低速切換 |
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其他 |
濾色片插板、起/檢偏鏡插板、DIC組件、攝像接口、調(diào)整平臺、相機、專業(yè)晶圓檢查軟件等 |
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手機：13818629801
郵箱：
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