CDW-3000S-DT激光平面干涉儀是一款新型的非接觸高精度無損光學(xué)表面測量設(shè)備。它基于菲索干涉原理,通過分析干涉條紋來確定光學(xué)表面面形。該設(shè)備集成了先進(jìn)的光學(xué)、機械和電子技術(shù),具有不損傷被測物品、測量精度高、測量時間短的特點;實現(xiàn)了對準(zhǔn)光路和成像光路的電子切換,方便了用戶的使用。
CDW-3000S-DT可以用于檢測高精度光學(xué)元器件、光盤、硬盤等,適用于車間加工過程的在線檢測,可整盤檢測。在科學(xué)研究、精密器件加工、光學(xué)零件測試等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。
CDW-3000S-DT主要技術(shù)指標(biāo)
技術(shù)指標(biāo) |
參數(shù)值 |
測量原理 |
菲索干涉原理 |
顯示方式 |
CCD顯示 |
標(biāo)準(zhǔn)參照鏡面形精度 |
P-V:λ/10 |
光源 |
He-Ne激光器 |
波長 |
632.8nm |
最大測量口徑 |
Ф300mm |
電源 |
AC210~230V 50~60Hz |
最佳工作溫度 |
20~25℃ |
外形尺寸 |
500×600×1200mm |
質(zhì)量 |
約150kg |
配置清單
序號 |
型號、規(guī)格、名稱 |
數(shù)量 |
1 |
CDW-3000S-DT激光平面干涉儀主機 |
1臺 |
2 |
氦氖激光電源 |
1套 |
3 |
高精度機械調(diào)節(jié)架 |
1套 |
4 |
標(biāo)準(zhǔn)Ф300mm光學(xué)平面樣板 |
1套 |
5 |
DELL計算機 |
1臺 |
6 |
14″液晶顯示屏 |
1臺 |
一 ,主要數(shù)據(jù)
第一標(biāo)準(zhǔn)平面(A面),不鍍膜。工作直徑:D1=φ285mm不平度小于0.05um
2.第二標(biāo)準(zhǔn)平面(B面),不鍍膜。工作直徑:D2=φ285mm 不平度小于0.08um
3.準(zhǔn)直系統(tǒng):孔徑F/2.8,工作直徑:D0=φ285mm 焦距:f=400mm
4.測微目鏡:焦距f=16.7mm,放大倍數(shù)β=15X,視場角2W=40°,成像物鏡:1.D=4.5 II.D=7 III.D=10 F=15 f=23 f=37
5.工作波長:632.8nm
6.干涉室尺寸:深400寬500*400mm。
7.光源規(guī)格:激光ZN18(He-Ne)。
8.儀器的外形尺寸:長*寬*高 500*600*1200mm
9.儀器重量:150公斤