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晶元半導(dǎo)體臺(tái)階測(cè)高顯微鏡介紹
VMM測(cè)量顯微鏡系列是觀察、測(cè)量和處理系統(tǒng)化的顯微鏡陣容。
特點(diǎn)
● 視場(chǎng)寬闊，可得清晰無(wú)閃爍正像
● 高精度測(cè)量，同時(shí)具有大測(cè)量范圍和高精度，適用于各種測(cè)量
● 可選用高NA物鏡，滿足長(zhǎng)工作距離的測(cè)量要求
● 照明裝置（反射/透射）可選用高亮度LED的照明或鹵素照明
● 利用可變孔徑光闌進(jìn)行無(wú)衍射觀察測(cè)量
● 各類尺寸的標(biāo)準(zhǔn)工作臺(tái)
● 快速釋放裝置便于測(cè)量工件大或測(cè)量工件數(shù)量多的快速移動(dòng)工作臺(tái)
● 高位目鏡觀察
● 便捷CCD圖像成像，可選配多種CCD數(shù)碼相機(jī)
觀察成像
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偏光觀察
觀察過濾后只有一個(gè)方向振動(dòng)的光。適于觀察具有特殊光學(xué)特性的材料，如礦石和液晶。
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微分干涉對(duì)比觀察
在檢測(cè)金屬、液晶和半導(dǎo)體表面的微小劃痕和階差時(shí)很有效。
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暗視場(chǎng)觀察
擋住直射到物體上的光，只觀察散射光，通過高對(duì)比度能觀察到在亮視場(chǎng)看不到的劃痕和粉末。
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亮視場(chǎng)觀察
最普通的觀察方式，直接觀察從工件表面反射的光。
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新功能增強(qiáng)Z軸測(cè)量精度
● 輔助對(duì)焦（FA）
新近研發(fā)的分光棱鏡輔助對(duì)焦（FA）提供更銳利的圖案，可在Z軸測(cè)量期間提供精確對(duì)焦。由于不同物鏡焦深差異導(dǎo)致的測(cè)量誤差被降到最低。
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對(duì)焦
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前端對(duì)焦
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后端對(duì)焦
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規(guī)格
● 無(wú)限遠(yuǎn)系統(tǒng)，管鏡200mm
● 傾斜角度30°，瞳孔距離55-75mm，正像
● 高眼點(diǎn)，大視場(chǎng)WF10/22
● 鼻輪螺紋M26X0.706
● Z軸的長(zhǎng)度180mm，微動(dòng)精度0.002mm，測(cè)量精度（at20℃），XY-軸的（2.5+0.02L）um，L=測(cè)量長(zhǎng)度（mm）在沒有放物體分辨率為0.001mm
● 12V50W反射鹵素?zé)?nbsp;
● 3W高亮度LED光源
● 可配置輔助調(diào)焦裝置（FA）
技術(shù)參數(shù)
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型號(hào)
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VMM-8Ⅰ型
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VMM-8Ⅱ型
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VMM-8 Ⅲ型
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VMM-8
Ⅳ型
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VMM-12Ⅰ型
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VMM-12Ⅱ型
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VMM-12Ⅲ型
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VMM-12
Ⅳ型
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鏡筒
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1×光學(xué)管徑，雙目目鏡，帶有CCD1/2靶面接口
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觀察圖像
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正像
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觀測(cè)方法
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輔助對(duì)焦系統(tǒng)
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-
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-
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頭部或照明器FA系統(tǒng)
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頭部或照明器FA系統(tǒng)
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-
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-
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頭部或照明器FA系統(tǒng)
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頭部或照明器FA系統(tǒng)
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微分干涉對(duì)比
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可選微分觀測(cè)對(duì)比
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目鏡
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10X(視場(chǎng)直徑：25mm)，可選十字分劃板，可選：視場(chǎng)直徑：22mm
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物鏡(100x選配)
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95mm 2x,
5x,10x,
20x,50x
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60mm 5x,
10x,20x,
50x
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95mm 2x,
5x,10x,
20x,50x
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60mm
5x,
10x,20x,
50x
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95mm 2x,
5x,10x,
20x,50x
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60mm 5x,
10x,20x,
50x
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95mm 2x,
5x,10x,
20x,50x
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60mm
5x,
10x,20x,
50x
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照明裝置
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反射照明
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內(nèi)置孔徑光闌，LED光源，無(wú)極亮度調(diào)節(jié)，可選鹵素照明
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透射照明
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白色LED照明，無(wú)極亮度調(diào)節(jié)
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工作臺(tái)
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XY測(cè)量范圍
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200*100
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200*100
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200*100
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200*100
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300*200
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300*200
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300*200
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300*200
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快速釋放裝置
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X軸和Y軸（標(biāo)配）
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調(diào)零開關(guān)
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X軸和Y軸（標(biāo)配）
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數(shù)顯計(jì)器
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顯示軸
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2軸或3軸
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分辯率
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0.0005mm（可選0.00002mm）
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VMM-8-Ⅰ型主圖
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VMM-8-Ⅱ型主圖
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VMM-8-Ⅲ型FA主圖
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VMM-8-Ⅳ型FA主圖
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VMM-12-Ⅰ型主圖-95mm
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VMM-12-Ⅱ型主圖-60mm
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VMM-12-Ⅲ型FA主圖-95mm
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VMM-12-Ⅳ型FA主圖-60mm
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介紹
95MM金相長(zhǎng)工作距離明場(chǎng)物鏡。
特點(diǎn)
● 可見光成像
● 無(wú)限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)，管徑焦距200mm
● 物鏡螺紋M26 x 0.706
技術(shù)參數(shù)
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平場(chǎng)復(fù)消色差M PLAN APO L
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數(shù)值孔徑N.A.
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工作距離W.D.
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焦距f
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景深D.F.
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分辨率R
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視場(chǎng)
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目鏡(WF10/24)
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1/2"CCD攝像頭
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2X
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0.055
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34.6
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100
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91μ
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5μ
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Φ12
|
2.4x3.2
|
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5X
|
0.14
|
45
|
40
|
14μ
|
2μ
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Φ4.8
|
0.96x1.28
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10X
|
0.28
|
34
|
20
|
3.5μ
|
1μ
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Φ2.4
|
0.48x0.64
|
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20X
|
0.29
|
30.8
|
10
|
3.5μ
|
1μ
|
Φ1.2
|
0.24x0.32
|
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50X
|
0.42
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20.5
|
4
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1.6μ
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0.7μ
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Φ0.45
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0.10x0.13
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100X
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0.55
|
12.5
|
2
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0.9μ
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0.5μ
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Φ0.24
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0.05x0.06
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介紹
60MM金相平場(chǎng)半復(fù)消色差物鏡。
特點(diǎn)
● 可見光成像
● 物鏡螺紋M26 x 0.706
技術(shù)參數(shù)
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名稱
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物鏡
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目鏡(WF10/25)
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數(shù)值孔徑N.A.
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有效工作距離W.D.(mm)
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焦距f′(mm)
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分辨率R(μm)
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物理焦深±Δp(μm)
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物方視場(chǎng)(mm)
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焦點(diǎn)深度±Δ(μm)
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5X
|
0.15
|
11.6
|
40
|
2.1
|
16.3
|
Φ5
|
38.3
|
|
10X
|
0.3
|
6.3
|
20
|
0.9
|
3.1
|
Φ2.5
|
7.8
|
|
20X
|
0.4
|
10.3
|
10
|
0.69
|
1.8
|
Φ1.25
|
3.5
|
|
50X
|
0.8
|
2
|
4
|
0.34
|
0.4
|
Φ0.5
|
0.8
|
|
100X
|
0.80
|
1.96
|
2
|
0.34
|
0.2
|
Φ0.25
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0.6
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介紹
45MM金相平場(chǎng)消色差明場(chǎng)物鏡。
特點(diǎn)
● 可見光成像
● 無(wú)限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)，管徑200mm
● 物鏡螺紋M20.32
技術(shù)參數(shù)
|
名稱
|
物鏡
|
目鏡(WF10/25)
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|
數(shù)值孔徑N.A.
|
有效工作距離W.D.(mm)
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焦距f′(mm)
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分辨率R(μm)
|
物理焦深±Δp(μm)
|
物方視場(chǎng)(mm)
|
焦點(diǎn)深度±Δ(μm)
|
|
5X
|
0.13
|
11.6
|
40
|
2.1
|
16.3
|
Φ5
|
38.3
|
|
10X
|
0.3
|
6.4
|
20
|
0.9
|
3.5
|
Φ2.5
|
7.8
|
|
20X
|
0.4
|
11.1
|
10
|
0.7
|
1.6
|
Φ1.25
|
3.5
|
|
50X
|
0.55
|
8.2
|
4
|
0.5
|
10.9
|
Φ0.5
|
1.4
|
|
100X
|
0.80
|
2
|
2
|
0.4
|
0.4
|
Φ0.25
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0.7
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微分干涉介紹
微分干涉DIC在正交偏光的基礎(chǔ)上，插入DIC棱鏡，即可進(jìn)行DIC微分干涉相襯觀察。使用DIC技術(shù)，可以使物鏡表面微小的高低差產(chǎn)生明顯的浮雕效果，極大的提高圖像的對(duì)比度。
5X、10X、20X專為DIC設(shè)計(jì)，使得整個(gè)視場(chǎng)的干涉色一致，微分干涉效果非常出色，高倍物鏡DIC效果也較好。
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