一、用途:
干涉顯微鏡是用來測量精密加工零件(平面、圓柱等外表面)光潔度的儀器,也可以用來測量零件表面刻線,鍍層等深度。該儀器配有各種附件,還能測量粒狀、加工紋路混亂的表面及低反射率的工件表面。同時還能將儀器安置在工件上,對大型工件表面進行測量。儀器測量表面不平深度范圍為1~0.03微米,用測微目鏡和照相方法來評定▽10~▽14光潔度的表面。
干涉顯微鏡適用于廠礦企業(yè)計量室、精密加工車間,也適用于高等院校、科學研究等單位。
二、主要技術規(guī)格:
測量表面光潔度范圍(表面粗糙度) ▽10~▽14 | ||
工作物鏡的數(shù)值孔徑 | 0.65 | |
工作距離 | 0.5毫米 | |
儀器的視場 | 目視 | φ0.25毫米 |
照相 | 0.21×0.15毫米 | |
儀器的放大倍數(shù) | 目視 | 500倍 |
照相 | 168倍 | |
測微目鏡放大倍數(shù) | 12.5倍 | |
工作臺升程 | 5毫米 | |
X、Y方向移動范圍 | ≈10毫米 | |
旋轉運動范圍 | 360° |
三、儀器配置:
1、儀器主體 1臺 2、12.5X測微目鏡 1件
3、狹縫目鏡 1件 4、V型塊 1件
5、6V/5W燈泡 2件 (備用) 6、變壓器 1只
7、試樣夾 1件
四、選購件:
DF相機、電腦成像系統(tǒng)等
表面粗糙度與光潔度的關系參考表 (單位:μm)
表面粗糙度 GB1031-1983 |
Ra |
0.012 |
0.025 |
0.05 |
0.10 |
0.20 |
0.40 |
0.80 |
1.60 |
3.20 |
6.30 |
12.5 |
25 |
50 |
100 |
表面光潔度 GB1031-1968 |
Ra |
0.01 |
0.02 |
0.04 |
0.08 |
0.16 |
0.32 |
0.63 |
1.25 |
2.5 |
5 |
10 |
20 |
40 |
80 |
等級 |
▽14 |
▽13 |
▽12 |
▽11 |
▽10 |
▽9 |
▽8 |
▽7 |
▽6 |
▽5 |
▽4 |
▽3 |
▽2 |
▽1 |
|
表面狀態(tài) |
|
霧狀鏡面 |
鏡狀光澤面 |
亮光澤面 |
暗光澤面 |
不可辨加工痕跡方向 |
微辨加工痕跡方向 |
可辨加工痕跡方向 |
看不清加工痕跡 |
微見加工痕跡 |
可見加工痕跡 |
微見刀痕 |
可見刀痕 |
明顯可見刀痕 |