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一、用途：

干涉顯微鏡是用來測量精密加工零件（平面、圓柱等外表面）光潔度的儀器，也可以用來測量零件表面刻線，鍍層等深度。該儀器配有各種附件，還能測量粒狀、加工紋路混亂的表面及低反射率的工件表面。同時還能將儀器安置在工件上，對大型工件表面進行測量。儀器測量表面不平深度范圍為1～0.03微米，用測微目鏡和照相方法來評定▽10～▽14光潔度的表面。

干涉顯微鏡適用于廠礦企業(yè)計量室、精密加工車間，也適用于高等院校、科學研究等單位。

 二、主要技術規(guī)格：

測量表面光潔度范圍（表面粗糙度） ▽10～▽14
工作物鏡的數(shù)值孔徑		0.65
工作距離		0.5毫米
儀器的視場	目視	φ0.25毫米
	照相	0.21×0.15毫米
儀器的放大倍數(shù)	目視	500倍
	照相	168倍
測微目鏡放大倍數(shù)		12.5倍
工作臺升程		5毫米
X、Y方向移動范圍		≈10毫米
旋轉運動范圍		360°

三、儀器配置：

1、儀器主體           1臺                   2、12.5X測微目鏡      1件  

3、狹縫目鏡           1件                   4、V型塊              1件

5、6V/5W燈泡          2件 （備用）       6、變壓器             1只

7、試樣夾             1件

 四、選購件：

DF相機、電腦成像系統(tǒng)等

表面粗糙度與光潔度的關系參考表  (單位:μm)